Zusammensetzungen und Verfahren zur Verwendung davon für Kohlenstoffdotierte Siliciumhaltige Filme

EP4253597 Art A3 6. Dezember 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4253597
Aktenzeichen: EP23187485
Anmeldetag: 26. Juli 2017
Veröffentlichung: 6. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/34C23C16/36C23C16/455C23C16/40C23C16/30C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von