Verfahren in Bezug auf ein Autocoder-Modell oder Ähnliches zum Herstellen von Prozessparameterschätzung

EP4254266 Art A1 4. Oktober 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4254266
Aktenzeichen: EP22164893
Anmeldetag: 29. März 2022
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/04G06N3/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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