Metalloxidfilmbildende Zusammensetzung, Verfahren zur Herstellung von Metalloxidfilmen damit und Verfahren zur Reduzierung des Volumenschrumpfverhältnisses von Metalloxidfilmen

EP4257644 Art A1 11. Oktober 2023

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4257644
Aktenzeichen
EP21910162
Anmeldetag
30. November 2021
Veröffentlichung
11. Oktober 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C09D1/00B82Y30/00B82Y40/00C08K3/22C08K5/09C08L101/00H01L21/027C23C18/12C09D7/62C09D7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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