Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Winkelaufgelösten Reflexionsprofils

EP4258058 Art A1 11. Oktober 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4258058
Aktenzeichen: EP22167102
Anmeldetag: 7. April 2022
Veröffentlichung: 11. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/44G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von