Htcc-Antenne zur Plasmaerzeugung

EP4260049 Art A1 18. Oktober 2023

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4260049
Aktenzeichen: EP21904381
Anmeldetag: 9. Dezember 2021
Veröffentlichung: 18. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/68G01N21/73H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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