System für Geladene Teilchen, Verfahren zur Bearbeitung einer Probe unter Verwendung eines Mehrfachstrahls von Geladenen Teilchen

EP4260357 Art B1 1. Januar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4260357
Aktenzeichen: EP21820214
Anmeldetag: 25. November 2021
Veröffentlichung: 1. Januar 2025
Erteilung: 1. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/302H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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