Reflektierender Fotomaskenrohling, Verfahren zur Herstellung einer Reflektierenden Fotomaske und Reflektierende Fotomaske

EP4261614 Art A1 18. Oktober 2023

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4261614
Aktenzeichen: EP23166211
Anmeldetag: 31. März 2023
Veröffentlichung: 18. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/38G03F1/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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