Topologiebasierte Bildwiedergabe in Inspektionssystemen mit Geladenen Teilchenstrahlen

EP4264373 Art B1 29. Oktober 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4264373
Aktenzeichen: EP21819114
Anmeldetag: 24. November 2021
Veröffentlichung: 29. Oktober 2025
Erteilung: 29. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G06T7/00G06T7/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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