System mit Geladenem Teilchenstrahl und Steuerverfahren dafür

EP4266346 Art A1 25. Oktober 2023

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4266346
Aktenzeichen: EP23167585
Anmeldetag: 12. April 2023
Veröffentlichung: 25. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J37/147H01J37/244H01J37/26H01J37/28H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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