Vakuumpumpe mit einer Holweck-Pumpstufe mit Veränderlicher Holweck-Geometrie

EP4273405 Art B1 9. Juli 2025

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4273405
Aktenzeichen
EP23198541
Anmeldetag
20. September 2023
Veröffentlichung
9. Juli 2025
Erteilung
9. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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