Dynamische Mantelsteuerung mit Randringhebung

EP4273912 Art A3 3. Januar 2024

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4273912
Aktenzeichen: EP23187534
Anmeldetag: 14. November 2019
Veröffentlichung: 3. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458C23C16/505H01J37/32C23C16/50H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von