Vorrichtung zum Positionieren und Halten Zumindest eines Optischen Elements, Messsystem

EP4275085 Art B1 4. Februar 2026

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4275085
Aktenzeichen: EP21836031
Anmeldetag: 6. Dezember 2021
Veröffentlichung: 4. Februar 2026
Erteilung: 4. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00G02B7/182F16M11/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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