Mehrstrahliger 3D-Fokusgenerator

EP4275833 Art A1 15. November 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4275833
Aktenzeichen: EP23169295
Anmeldetag: 21. April 2023
Veröffentlichung: 15. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/53B23K26/067G02B26/06B23K26/064G02B27/00G02B27/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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