Beleuchtungsmodusselektor und Zugehöriges Optisches Messinstrument

EP4276537 Art A1 15. November 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4276537
Aktenzeichen: EP22172390
Anmeldetag: 9. Mai 2022
Veröffentlichung: 15. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/88G01N21/95G01N21/956G02F1/01G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von