Interferometersystem, Positionierungssystem, Lithografische Vorrichtung, Jitterbestimmungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP4278146 Art A1 22. November 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4278146
Aktenzeichen: EP21836466
Anmeldetag: 12. Dezember 2021
Veröffentlichung: 22. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02001G01B9/02055G01B9/02003G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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