Korrektur der Aberration und Apodisierung eines Optischen Systems mit Korrekturplatten
EP4278172
Art A1
22. November 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4278172
- Aktenzeichen
- EP22750203
- Anmeldetag
- 28. Januar 2022
- Veröffentlichung
- 22. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/93G01N21/88G01B11/06H01L21/66G02B27/00G02B27/58G01M11/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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