Rückbeleuchteter Sensor mit mittels Plasmaatomschichtabscheidung Abgeschiedener Borschicht
EP4278384
Art A1
22. November 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4278384
- Aktenzeichen
- EP22750268
- Anmeldetag
- 2. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 22. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/28C23C16/02C23C16/50G01N21/956G01N21/95H10F39/00H10F39/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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