Systeme und Verfahren zur Vorausrichtung von Proben zur Effizienteren Verarbeitung mehrerer Proben mit einem System mit Breitem Ionenstrahl (bib)

EP4279899 Art B1 30. Oktober 2024

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4279899
Aktenzeichen: EP23173051
Anmeldetag: 12. Mai 2023
Veröffentlichung: 30. Oktober 2024
Erteilung: 30. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N1/28G01N1/32H01J37/20H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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