Quellenauswahlmodul und Zugehöriges Messtechnisches Gerät

EP4279993 Art A1 22. November 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4279993
Aktenzeichen: EP22174097
Anmeldetag: 18. Mai 2022
Veröffentlichung: 22. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956G02F1/33G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von