Verfahren und Vorrichtung zur Euv-Maskeninspektion
EP4281831
Art A1
29. November 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4281831
- Aktenzeichen
- EP22756710
- Anmeldetag
- 7. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 29. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/84G03F7/00H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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