Gaseinlassanordnung einer Prozesskammer, Gaseinlassvorrichtung und Halbleiterverarbeitungsausrüstung

EP4283023 Art A1 29. November 2023

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4283023
Aktenzeichen: EP21920866
Anmeldetag: 28. Dezember 2021
Veröffentlichung: 29. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C30B25/14H01J37/32C30B29/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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