Substratbehandlungsvorrichtung, Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelement, Drucksteuerungsvorrichtung und Substratbehandlungsprogramm

EP4283661 Art A1 29. November 2023

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4283661
Aktenzeichen: EP21921093
Anmeldetag: 25. Januar 2021
Veröffentlichung: 29. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/31H01L21/67C23C16/34C23C16/44C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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