Verfahren zum Bilden einer Schicht, Optisches Element und Optisches System

EP4284957 Art A1 6. Dezember 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4284957
Aktenzeichen: EP22700013
Anmeldetag: 3. Januar 2022
Veröffentlichung: 6. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/06C23C14/10C23C14/30H01J37/32G02B1/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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