System und Verfahren zur Optischen Pfadkopplung von Licht zur Photochemischen In-Situ-Reinigung in Projektionsbildgebungssystemen
EP4285098
Art A1
6. Dezember 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4285098
- Aktenzeichen
- EP22792368
- Anmeldetag
- 20. April 2022
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/84G03F1/82G03F7/00B08B7/00G01N21/94
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank