Gegenstrom-Gasdüse zur Kontaminationsminderung in Extrem-Uv-Inspektionssystemen
EP4285099
Art A1
6. Dezember 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4285099
- Aktenzeichen
- EP22811886
- Anmeldetag
- 20. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/15G01N21/33G01N21/88G01N21/95G01B11/00G03F7/20G02B27/00G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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