Bildgebungsreflektometrie für Inline-Screening

EP4285112 Art A1 6. Dezember 2023

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4285112
Aktenzeichen
EP22776304
Anmeldetag
6. März 2022
Veröffentlichung
6. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/88G01B11/06G01B11/24G06T7/00G06N20/00H01L21/67G03F7/00G01N21/95
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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