System und Verfahren zur Interferometrie mit Lateralem Scheren in einem Inspektionswerkzeug
EP4285113
Art A1
6. Dezember 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4285113
- Aktenzeichen
- EP22792458
- Anmeldetag
- 21. April 2022
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01N21/95G01N21/956G01N21/33G01B9/02G01B11/24G01J9/02G03F1/84G01J9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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