Systeme und Verfahren zur Adaptiven Halbleiterprüfung unter Verwendung von Inline-Defektteilmittelwertprüfung
EP4285128
Art A1
6. Dezember 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4285128
- Aktenzeichen
- EP22799318
- Anmeldetag
- 29. April 2022
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/28G01R31/01G06F17/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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