Kantenprofilinspektion für Delaminationsdefekte
EP4285316
Art A1
6. Dezember 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4285316
- Aktenzeichen
- EP21938113
- Anmeldetag
- 13. August 2021
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06T7/00G06T7/13G06T5/00G06T5/20G03F7/20G06T5/73
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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