Multielektronenstrahlsystem mit Hohem Durchsatz
EP4285399
Art A1
6. Dezember 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4285399
- Aktenzeichen
- EP22808041
- Anmeldetag
- 29. April 2022
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/073H01J37/147H01J37/09H01J37/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank