Verfahren zur Herstellung eines Photonischen Chips

EP4286926 Art B1 31. Dezember 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4286926
Aktenzeichen: EP23176231
Anmeldetag: 30. Mai 2023
Veröffentlichung: 31. Dezember 2025
Erteilung: 31. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/025H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Ce procédé comporte : - avant le collage d'un substrat sur une couche de matériau semi-conducteur encapsulé dans laquelle est réalisée une première partie d'un composant optique, la réalisation (91) de plots enfoncés à l'intérieur d'une couche enterrée en oxyde de silicium, chacun de ces plots comportant une face enfouie qui s'étend parallèlement à une interface entre la couche enterrée et la couche en matériau semi-conducteur encapsulé à une profondeur prédéterminée à l'intérieur de la couche enterrée, chacune des faces enfouies étant réalisée dans un matériau différent de l'oxyde de silicium, puis - l'amincissement (128) de la couche enterrée pour laisser subsister une couche résiduelle en oxyde de silicium sur la couche en matériau semi-conducteur encapsulé, cette amincissement comportant une opération d'amincissement de la couche enterrée avec arrêt de cet amincissement dès que la face enfouie des plots est mise à nue.

Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

5.980 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

8.393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von