Vorrichtung zur Befestigung eines Pellikels

EP4286941 Art A3 6. März 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4286941
Aktenzeichen: EP23203497
Anmeldetag: 16. November 2015
Veröffentlichung: 6. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F7/20G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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