Verfahren und Vorrichtungen zur Räumlichen Filterung von Optischen Impulsen

EP4288823 Art A1 13. Dezember 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4288823
Aktenzeichen: EP22700398
Anmeldetag: 12. Januar 2022
Veröffentlichung: 13. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G01N21/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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