Greifer zum Transportieren einer Stehend Angeordneten Halbleiterscheibe und Verfahren zum Reinigen der Halbleiterscheibe
EP4290564
Art B1
11. Dezember 2024
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4290564
- Aktenzeichen
- EP22177526
- Anmeldetag
- 7. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2024
- Erteilung
- 11. Dezember 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687C23C16/458H01L21/673// H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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