Verfahren zur Herstellung eines Mehrteiligen Spiegels einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie

EP4291929 Art A1 20. Dezember 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4291929
Aktenzeichen: EP22702722
Anmeldetag: 31. Januar 2022
Veröffentlichung: 20. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08C04B37/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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