Verfahren zur Bestimmung der Virtuellen Quellenposition einer Flüssigmetallionenquelle

EP4293699 Art B1 17. Dezember 2025

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4293699
Aktenzeichen: EP23178069
Anmeldetag: 7. Juni 2023
Veröffentlichung: 17. Dezember 2025
Erteilung: 17. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/08H01J37/147H01J37/244H01J37/28H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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