Gerät zur Erlangung von Messungen der Ionenenergieverteilung

EP4293700 Art B8 3. Dezember 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc., Impedans Ltd 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4293700
Aktenzeichen
EP23201341
Anmeldetag
30. August 2021
Veröffentlichung
3. Dezember 2025
Erteilung
3. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H01J49/48H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
Impedans Ltd
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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