Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Bilderfassungsverfahren

EP4293701 Art A3 10. April 2024

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4293701
Aktenzeichen: EP23178104
Anmeldetag: 7. Juni 2023
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28G06T7/32H01J37/22H01J37/244H01J37/26H01J49/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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