System und Verfahren mit Fokussiertem Ionenstrahl

EP4297062 Art A1 27. Dezember 2023

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4297062
Aktenzeichen: EP23180871
Anmeldetag: 22. Juni 2023
Veröffentlichung: 27. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153H01J37/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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