Kristallographische und Oxynitridbasierte Oberfläche
Anmelder: The Regents of The University of Michigan, Toma, Francesca Maria, Ogitsu, Tadashi, Pham, Tuan Anh, Zeng, Guosong 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4298661
- Aktenzeichen
- EP22763832
- Anmeldetag
- 28. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C30B29/40C25B11/061H01L21/28C25B1/04C25B9/50C25B11/049C25B11/052C25B11/067H10D30/60H10D64/68H10H20/817H01L21/66
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- The Regents of The University of Michigan
Toma, Francesca Maria
Ogitsu, Tadashi
Pham, Tuan Anh
Zeng, Guosong - Land
- 🇺🇸 USA
Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.
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