Verfahren zum Verarbeiten von von einer Probe Abgeleiteten Daten

EP4300087 Art A1 3. Januar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4300087
Aktenzeichen: EP22181883
Anmeldetag: 29. Juni 2022
Veröffentlichung: 3. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2251H01J37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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