Fokusmessung und -Steuerung in der Metrologie und Zugehörige Keilanordnung

EP4300193 Art A1 3. Januar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4300193
Aktenzeichen: EP22181325
Anmeldetag: 27. Juni 2022
Veröffentlichung: 3. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G03F7/20G01N21/47G01N21/956G02B7/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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