Abdeckung für ein Reinigungsmodul zum Reinigen einer Halbleiterscheibe und Verfahren zum Reinigen einer Halbleiterscheibe in einer Reinigungsstrasse
EP4300556
Art A1
3. Januar 2024
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4300556
- Aktenzeichen
- EP22181251
- Anmeldetag
- 27. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67// H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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