Membran für eine Lithographische Vorrichtung und Verfahren

EP4301496 Art A1 10. Januar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4301496
Aktenzeichen: EP22703631
Anmeldetag: 3. Februar 2022
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B01D67/00B01D71/02B82Y40/00C01B32/158D01F9/127G03F1/62G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik Textiltechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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