Beurteilungsvorrichtung, die eine Vielzahl von Strahlen Geladener Teilchen Verwenden

EP4303908 Art A1 10. Januar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4303908
Aktenzeichen: EP22183148
Anmeldetag: 5. Juli 2022
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/21

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von