Substratverarbeitungssystem, Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Programm

EP4307065 Art A1 17. Januar 2024

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4307065
Aktenzeichen: EP23181164
Anmeldetag: 23. Juni 2023
Veröffentlichung: 17. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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