Oberflächenbehandlungsverfahren, Trockenätzverfahren, Reinigungsverfahren, Halbleiterbauelementherstellungsverfahren und Ätzvorrichtung
EP4307346
Art A1
17. Januar 2024
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4307346
- Aktenzeichen
- EP22795775
- Anmeldetag
- 26. April 2022
- Veröffentlichung
- 17. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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