Ätzgas und Ätzverfahren

EP4307349 Art A1 17. Januar 2024

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4307349
Aktenzeichen: EP22766773
Anmeldetag: 17. Februar 2022
Veröffentlichung: 17. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311C01B21/084C09K13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Resonac Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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