Substratverarbeitungsvorrichtung, Anomaliedetektionsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
EP4307830
Art A1
17. Januar 2024
Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4307830
- Aktenzeichen
- EP22767196
- Anmeldetag
- 9. März 2022
- Veröffentlichung
- 17. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D23/19C23C16/46H05B3/00H01L21/205H01L21/31C23C16/52H05B1/02H05B3/46H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kokusai Electric
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
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