Verfahren zum Reinigen einer Oberfläche, Reinigungsvorrichtung und Optische Anordnung

EP4309003 Art A1 24. Januar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4309003
Aktenzeichen: EP22708121
Anmeldetag: 24. Februar 2022
Veröffentlichung: 24. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B05B7/06G03F7/20G02B27/00B24C1/00B05B7/08B05B15/40B05B16/40B24C5/04G02B13/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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